CI白光干涉表面輪廓儀是一款基于光學(xué)干涉原理的高精度表面形貌測(cè)量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于精密加工、光學(xué)元件、半導(dǎo)體材料及微納結(jié)構(gòu)等領(lǐng)域的三維形貌分析。該儀器通過(guò)非接觸式測(cè)量方式，能夠快速獲取樣品表面的微觀輪廓信息，為工業(yè)生產(chǎn)和科研檢測(cè)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。
儀器采用白光垂直掃描干涉技術(shù)（VSI），結(jié)合高穩(wěn)定性光學(xué)系統(tǒng)和精密位移控制模塊，可在納米級(jí)分辨率下實(shí)現(xiàn)亞埃級(jí)縱向測(cè)量精度。其寬視場(chǎng)成像功能支持毫米級(jí)區(qū)域的全場(chǎng)掃描，同時(shí)具備局部微區(qū)的高倍率精細(xì)觀測(cè)能力，可適配不同尺寸和材質(zhì)的樣品測(cè)量需求。配備智能分析軟件，可自動(dòng)生成表面粗糙度、臺(tái)階高度、波紋度等二十余項(xiàng)特征參數(shù)，并提供三維形貌重構(gòu)、二維截面分析等多種可視化呈現(xiàn)模式。
在功能拓展方面，設(shè)備支持多模塊組合配置，可根據(jù)用戶需求集成環(huán)境隔離系統(tǒng)、自動(dòng)對(duì)焦模塊或高溫樣品臺(tái)等專用附件。人性化的操作界面設(shè)計(jì)降低了使用門檻，即使非專業(yè)人員也能快速完成測(cè)量流程。針對(duì)特殊樣品表面，系統(tǒng)提供多種濾波算法和誤差補(bǔ)償方案，有效消除環(huán)境振動(dòng)、雜散光等干擾因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。
該產(chǎn)品在精密光學(xué)元件檢測(cè)、MEMS器件表征、超光滑表面加工等領(lǐng)域具有突出優(yōu)勢(shì)，其測(cè)量數(shù)據(jù)可追溯至國(guó)際公認(rèn)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)，為產(chǎn)品質(zhì)量控制、工藝優(yōu)化及失效分析提供可靠依據(jù)。通過(guò)模塊化設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)功能靈活擴(kuò)展，滿足科研機(jī)構(gòu)、檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)生產(chǎn)線的多元化需求。
